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      離子去膠機 型號：PR-3
      
                
      
                  發布時間： 2021-04-06　　點擊次數： 577次  
                
      
                
      
                 
      離子去膠機 型號：PR-3
      通過等離子體方法，對陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進行干法去除。設備為單室真空系統，主要由真空系統、氣路系統、電氣系統、射頻電源系統、控制系統、冷卻系統、報警系統等部分組成。 
      射頻電源采用RF500W電源控制。 
      氣路系統采用兩臺浮子流量計控制氣體進氣。
        腔室結構：臥式、純石英
        真空室規格：F210´300mm
        限真空：1Pa（環境濕度≤55%）
        真空系統:機械泵
        大裝片直徑: F4英寸
         大裝片容量：4英寸 25片/爐
        去膠速率: ～500A/min
        去膠不均勻性：≤±5％ (φ4吋范圍內)
        操作方式:手動方式
      用戶可選配全自動控制方式
      
                
      
                
            
      
        
      
    
      
  
      

      

      



      
  
      
    
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